Análise comparativa das propriedades elétricas de camadas e multicamadas de VOx depositadas por pulverização catódica para aplicação em bolômetros

Resumen

Filmes finos de VOX (camada e multicamadas) foram fabricados por pulverização catódica com rádiofrequência
assistida por campo magnético constante para aplicação em detectores de radiação infravermelha
do tipo bolômetro. As amostras foram fabricadas sem quebra de vácuo a partir de três alvos: V2O3; VO2 e
V2O5. Um sistema de pulverização catódica com três catodos foi construído para a realização deste trabalho.
Os resultados mostraram que ambas as configurações, camadas e multicamadas, apresentaram TCR semelhantes,
da ordem de 2 %/K, e resistência de folha inferior a 20 kΩ/quad, sendo ambas recomendadas para
emprego em bolômetros.
Palavras-chave: VOX, pulverização catódica, bolômetros.